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Cr—Al离子束混合效应的RBS测量

         

摘要

离子束混合技术是改善金属表面性质的一种重要方法,为了研究膜和基体的混合状态,我们用N离子束轰击Al基体上的Cr膜,并用背散射方法测量了Cr-Al的离子束混合效应,还利用^(15)N(p,α)^(12)C反应,比较准确地测定了N离子的入射剂量。

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