深紫外光照射针孔衍射特性研究

陈峰

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深紫外光照射针孔衍射特性研究

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采用一种非旁轴衍射理论分析了深紫外光照射系统中的参考波面,分别对理想和实拍圆孔的参考波前进行了计算.结果显示,孔的不规则度对波面的P-V值影响较大,但如果孔的不规则度在0.02之内、波面的P-V值控制在1.5％波长范围以内,能够满足实际需要.结果表明,孔的不规则度对光强的均匀性影响不大,如果要提高波面的均匀度,需要减小波面的NA大小.

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来源
《光机电信息》 |2011年第8期|12-16|共5页
作者
陈峰;
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作者单位

中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,吉林长春130033;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类干涉与衍射;
关键词
DUV检测系统; 波前; P-V值; 孔的不规则度;

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