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精密气动定位系统的发展及应用

         

摘要

精密气动定位系统具有高精度、高速、大行程、传动平稳、使用费用低等优点,目前广泛地应用于光刻、数控机床等诸多精密工程领域.本文按照时间顺序介绍了精密气动定位系统的发展情况,总结了精密气动定位系统的应用特点,并指出当前精密气动定位系统一些有待改进的关键技术.

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