晶振膜厚监控技术中Tooling Factor的精确标定

张立超

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晶振监控法是一种实现非规整膜系监控的重要手段.在晶振监控中,晶振片与镀膜基片上沉积薄膜厚度的比值,即Tooling Factor是相对固定的.采用晶振监控法实现薄膜厚度的精确控制必须对Tooling Factor进行精确标定.本文提出了精确标定Tooling Factor的方法,并对这种方法进行了实验验证.结果表明,该方法能够将膜厚控制误差从～20%降低到6%的水平,从而使多层膜的反射率曲线更加接近设计结果,实现多层膜膜厚的精确控制.

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来源
《光机电信息》 |2010年第11期|56-60|共5页
作者
张立超;
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作者单位

中国科学院,长眷光学精密机械与物理研究所,应用光学国家重点实验室,吉林,长春,130033;

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正文语种 chi
中图分类薄膜的性质;
关键词
膜厚控制; 晶振监控; Tooling Factor;

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