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微加工技术之现状

         

摘要

@@ 1 引言rn微型化是制造业未来10年发展面临的挑战和动力.rn人类社会的进步,特别是人们对于日用消费新产品的需求,促使精密光机电技术迅猛发展.现有的技术虽部分已经老化,但仍然是改进和革新产品的基础技术.

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