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柔性轴FSM控制技术综述

         

摘要

在复合轴光电跟踪系统中,通过对快速反射镜(FSM)的控制实现了光束的更精确控制.本文分析了国内外几种柔性轴FSM的机械结构及性能,具体介绍了应用较成熟的柔性轴FSM控制系统以及柔性轴系统设计的几项关键技术.

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