硅激光器制造技术已经成熟了吗?

王玉英

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化合物半导体在光电子器件中对光的产生和放大的重要作用已被人们所共知。实际上，硅早已成为符合电子集成电路的标准材料，并具有低成本的优势，因此加速硅光电子器件的研发和新型硅光电子器件的研制已成为热门的研究课题。被称为硅基光子学的这项技术可与电子集成电路和微电子机械系统（MEMS）技术兼容，如在用先进技术制造的多功能芯片上可将电子器件、光学元件和微电子机械系统组装在一起。

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来源
《光机电信息》 |2006年第4期|33-36|共4页
作者
王玉英;
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作者单位

无;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类机电一体化;
关键词
制造技术; 硅基; 微电子机械系统; 激光器; 光电子器件; 成熟; 化合物半导体; 集成电路; 多功能芯片; 标准材料;

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