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厚膜微调技术及发展趋势

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摘要

介绍了厚膜电阻常用的喷砂微调和脉冲电压微调、激光微调三种微调技术及其发展趋势,重点介绍了激光微调机理、调阻方式以及微调图形分类.与喷砂和脉冲电压微调技术相比,激光微调具有精度高、速度快、效率高的特点,因而具有广阔的发展前景.

著录项

来源
《光机电信息》 |2004年第6期|29-34|共6页
作者
李文娟; 田兴志;
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作者单位

中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130033;

中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130033;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类膜集成电路;
关键词
喷砂微调; 脉冲电压微调; 激光微调;

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