行走驱动式超高精度位置控制器的研究

齐涤非

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超高精度位置拉制器广泛应用于半导体生产、测量及精密机械设备中。许多设备都采用压电致动器(PZTs),因为它具有高分辨率、刚度好、响应快等特性。然而压电致动器的行程极短,为此,这种致动器往往与其它行程长的致动器结合使用。结果造成该简单机构难以实现长行程的超高精度位置控制。

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来源
《光机电信息》 |1999年第3期|6-9|共4页
作者
齐涤非;
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作者单位

无;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类控制器;
关键词
位置控制器; 行走驱动式; 超高精度; 压电致动器;

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