用激光等离子体作光源的反射式X光显微镜

周长新

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用激光等离子体作光源的反射式X光显微镜

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根据多层膜反射镜原理建立的X射线光学系统可获得微细物体放大成像的分辨率为0.2μm(波长为20nm时)。这个系统由激光等离子体光源、X射线聚光镜、20~x倍施瓦兹希尔德物镜、滤光片组和探测器组成。所使用的高质量的X光光学零件和精密调整光学系统,可获得在全通光口径下的分辨率为0.2μm,用二倍频Nd激光器,脉冲能量为0.5J,在一个脉冲间隔1.5ns时间内获得曝光是足够的。

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来源
《光机电信息》 |1997年第6期|15-17|共3页
作者
周长新;
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作者单位

无;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类 TH742.63;
关键词
反射式; X光显微镜; 光源; 激光等离子体;

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