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机载侦察用高速高分辨TDI成像传感器

         

摘要

加拿大DALSA公司的Dobson等人于1994年发表了他们对出现在机载侦察中的典型高速扫描(130001/s)最佳化的一个2048×96 TDI(延时积分)CCD成像传感器的设计.该成像传感器包括一个成像面积大小的选择机构,其与TDI结构一起使传感器响应扩展到一个宽入射光强度范围.在机载侦察中存在的高信号强度,输出信号的动态范围受图像散粒噪声限制而不是受装置噪声限制.像素间距为13μm,给出传感器极好的空间分辨.传感器在尼奎斯特(Nyquist)频率的调制传递函数(MTF)为50%.为减少成像滞后,该器件采用NMOS工艺利用三个多晶硅层和埋置CCD寄存器制造.

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