用于纳米测量技术的精密压电扫描仪

大舟

首页> 中文期刊> 《光机电信息》 >用于纳米测量技术的精密压电扫描仪

用于纳米测量技术的精密压电扫描仪

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

在微系统工程和半导体技术领域,产品结构越来越小,为了生产这些微小结构的制品,为了标定这方面的标准与检测仪器,对亚微米及纳米范围形状测量的精度,提出越来越严格的要求.本文介绍一种非线性小于0.05%的扫描仪,并对校准与验证非线性的方法和应用范围作了说明.利用扫描探针显微镜对表面扫描时,出现了不同类型的测量误差.其原因在于:环境的影响,如建筑物的振动、声的干扰、温度变化等,

著录项

来源
《光机电信息》 |1995年第9期|18-22|共5页
作者
大舟;
展开▼
作者单位

无;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类显示器件;
关键词
压电扫描仪; 纳米测量;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 用于单个生物分子分析的纳米操作和纳米测量技术 [J] . 余兴龙 ,王佳 . 仪器仪表学报 . 1996,第S1期
2. 精确到纳米!我超精密测量技术冲破“封锁线” [J] . . 机床与液压 . 2021,第10期
3. 量子精密测量技术实现对微波场纳米级分辨率的重构 [J] . . 真空电子技术 . 2015,第2期
4. 几何量微纳米级精密测量技术研究的若干新进展 [J] . 叶孝佑 ,高思田 . 计量学报 . 2006,第0z1期
5. 图像测量技术用于精密测量 [J] . 俞朴 ,赵辉 ,刘伟文 . 轻型汽车技术 . 2003,第006期
6. 几何量微纳米级精密测量技术研究的若干新进展 [C] . 叶孝佑 ,高思田 . 中国计量测试学会几何量专业委员会2006年年会 . 2006
7. 基于双纵模同轴差动原理用于超精密加工在线检测的轮廓测量技术研究 [A] . 黄伟 . 2006

用于纳米测量技术的精密压电扫描仪

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅