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SiTime开发新结构MEMS振子

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cqvip:美国SiTime公司正在开发未来用于硅振荡器的新结构MEMS振子。MEMS振荡器（硅振荡器）是由利用MEMS技术制造的硅共振结构（振子）和驱动电路等组合构成的，该公司目前量产的产品使用共振频率为5MHz的振子，通过PLL电路转换为符合客户要求的频率后输出时钟。

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来源
《光机电信息》 |2008年第5期|P.17|共1页
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正文语种 chi
中图分类机电一体化;
关键词
MEMS; 共振结构; 振子; 开发; 共振频率; 振荡器; 驱动电路; 技术制造;

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