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紫外脉冲激光器

         

摘要

这是一种高速微细加工用3kW级的全固体紫外脉冲激光器。与传统激光器的266nm波长、1.5kW功率相比,功率高;对产生4次谐波的非线性晶体采用了特殊技术,使寿命提高了6倍;可同时实现高重复率与高功率。

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