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相干公司最新推出IndyStar 2 kHz准分子激光器

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相干公司最新推出IndyStar 2 kHz准分子激光器，已完全通过Semi S2认证，采用了几种新的输出稳定化技术以促进T艺提高．使其成为半导体制造、测试、检验以及微加工等应用的理想选择。

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来源
《光机电信息》 |2010年第5期|56-56|共1页
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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TN248.22;
关键词
准分子激光器; 相干; 半导体制造; 稳定化技术; Semi; 微加工;

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