基于柔性聚合物薄膜的低维材料定点转移研究

谭欣; 刘玉春; 沈天赐; 麻艳娜; 谷付星

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基于柔性聚合物薄膜的低维材料定点转移研究

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针对目前低维材料转移方案中过程复杂和衬底适应性差的难题,提出了一种常温常压下基于柔性聚合物薄膜聚二甲基硅氧烷(polydimethylsiloxane, PDMS)的低维材料定点转移方法。PDMS柔性膜的受力形变是实现其与不同衬底紧密贴合的基础,针对不同的目标衬底,仅需要更换对应的衬底微调系统盖板,结合三维位移机械系统,即可实现一维和二维材料的通用定点转移。该方法避免了转移过程中的真空吸附及衬底加热等严格条件,降低了材料的定点转移难度并提高了其稳定性和通用性。此外该方法也可实现低维材料同质结或其它垂直结构的构建,从而极大提高低维材料结构的丰富性。

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来源
《光学仪器》 |2022年第6期|66-72|共7页
作者
谭欣; 刘玉春; 沈天赐; 麻艳娜; 谷付星;
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作者单位

上海理工大学光电信息与计算机工程学院;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类显微镜;
关键词
转移系统; 定点转移; 半导体纳米线; 过渡金属硫化物; 同质结;

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