气/液两用型原子力显微镜及其应用研究

伏霞; 刘超; 章海军

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发展了一种气/液两用型原子力显微镜(AFM)系统,讨论了其工作原理,给出了优化的气/液两用型探头及扫描与反馈控制电路.利用该型AFM系统分别对大气环境下的硅片以及液体环境下的刀片和多孔氧化铝样品进行了扫描检测.实验结果表明,该型AFM系统在大气和液体环境中均可扫描获得理想的AFM图像,分辨力达到纳米量级,扫描范围可达4000nm×4000nm,可满足各种微纳米扫描测量的要求.

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来源
《光学仪器》 |2008年第5期|61-64|共4页
作者
伏霞; 刘超; 章海军;
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作者单位

浙江大学,现代光学仪器国家重点实验室,浙江,杭州,310027;

浙江大学,现代光学仪器国家重点实验室,浙江,杭州,310027;

浙江大学,现代光学仪器国家重点实验室,浙江,杭州,310027;

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正文语种 chi
中图分类显微镜;
关键词
微纳米技术; 气/液两用; 原子力显微镜; 液体池;

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