飞秒脉冲激光沉积类金刚石膜实验研究

郭延龙; 张玺; 曹海源; 袁孝; 张熹; 胡婷婷; 卢常勇; 万强

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期望用类金刚石膜作为硅的红外保护/增透膜,采用波长为800nm,脉宽50fs,重复频率1KHz的Ti:Sapphire飞秒激光器及石墨靶材在单晶Si片上沉积了约0.7μm～1μm厚的类金刚石膜(diamond-like carbon films,DLC),获得了光滑致密,硬度显著提高,红外透过率有一定增加的样品.通过对薄膜拉曼光谱和X射线光电子能谱等的测试,发现单脉冲能量在0.4mJ～1.6mJ范围内变动时,单脉冲能量0.8mJ获得的类金刚石膜综合性能最佳,其对应的焦斑功率密度计算值为1.4×1014W/cm2.

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来源
《光学仪器》 |2006年第4期|60-63|共4页
作者
郭延龙; 张玺; 曹海源; 袁孝; 张熹; 胡婷婷; 卢常勇; 万强;
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作者单位

武汉军械士官学校光电研究所,湖北,武汉,430075;

武汉军械士官学校光电研究所,湖北,武汉,430075;

武汉军械士官学校光电研究所,湖北,武汉,430075;

华中科技大学光电子科学与工程学院,湖北,武汉,430074;

华中科技大学光电子科学与工程学院,湖北,武汉,430074;

武汉军械士官学校光电研究所,湖北,武汉,430075;

武汉军械士官学校光电研究所,湖北,武汉,430075;

武汉军械士官学校光电研究所,湖北,武汉,430075;

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正文语种 chi
中图分类薄膜物理学;
关键词
类金刚石膜(DLC); 飞秒激光; 脉冲激光沉积; 保护膜;

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