基于LabVIEW的宽光谱膜厚监控系统的研制

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• 来源
  《光学仪器》 |2006年第5期|66-70|共5页
• 作者

  王巧彬; 任豪; 罗宇强;

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• 作者单位

  广州市光机电工程研究开发中心,广东省现代控制与光机电技术公共实验室,广东,广州,510635;

  广州市光机电工程研究开发中心,广东省现代控制与光机电技术公共实验室,广东,广州,510635;

  广州市光机电工程研究开发中心,广东省现代控制与光机电技术公共实验室,广东,广州,510635;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 计算技术、计算机技术;
• 关键词

  光学薄膜; 宽光谱; 膜厚监控; 光谱特性; LabVIEW;