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激光球面干涉仪系统误差的测量

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摘要

为了定标测量系统、提高测量精度,在简要论述了激光球面干涉仪的原理以后,采用移相技术,获得了四幅干涉图,并提取出范围在[-π,π)之间的相位.然后,利用相位消跳变算法,展开得到连续的相位.最后经过消倾斜和离焦等后继处理,得到了系统的波面误差.

著录项

来源
《光学仪器》 |2004年第3期|14-17|共4页
作者
吴航行;
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作者单位

中国科学院上海技术物理研究所,上海,200083;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类调整、测试、校验;
关键词
波像差; 干涉测量; 移相技术; 相位展开;

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