偏心孔阑离轴照明EUVL微缩投影物镜的设计及模拟装调

著录项

• 来源
  《光学仪器》 |2003年第4期|39-43|共5页
• 作者

  林强; 金春水; 向鹏; 马月英; 裴舒; 曹健林;

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• 作者单位

  中科院长春光学精密机械与物理研究所,应用光学国家重点实验室,吉林,长春,130022;

  中科院长春光学精密机械与物理研究所,应用光学国家重点实验室,吉林,长春,130022;

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  中科院长春光学精密机械与物理研究所,应用光学国家重点实验室,吉林,长春,130022;

  中科院长春光学精密机械与物理研究所,应用光学国家重点实验室,吉林,长春,130022;

  中科院长春光学精密机械与物理研究所,应用光学国家重点实验室,吉林,长春,130022;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 几何光学;
• 关键词

  极紫外投影光刻; Schwarzschild投影物镜; 计算机辅助装调;