提高梳状一维PSD性能的研究

吴旭明; 曹向群; 唐九耀; 陈钰清

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提高梳状一维PSD性能的研究

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梳状一维位置敏感探测器是一种高精度的位置敏感探测器PSD(Position Sensitive Detector).反向击穿电压是PSD器件的关键性能参数之一,目前国内的此类产品普遍存在反向击穿电压较低.为了改善PSD的技术性能,详细分析了梳状一维PSD反向击穿电压低的原因,并提出了几条有效的改进措施.

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来源
《光学仪器》 |2002年第5期|55-58|共4页
作者
吴旭明; 曹向群; 唐九耀; 陈钰清;
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作者单位

浙江大学;

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正文语种 chi
中图分类探测器与探测法;
关键词
反向电压; 位置敏感探测器;

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