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薄膜应力分析及一些测量结果

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摘要

论述了薄膜应力在强激光薄膜应用中的重要性,分析了应力的形成原因及沉积参数、老化条件的关系,给出了应力的简单测试方法及部分结果.

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来源
《光学仪器》 |2001年第5期|84-91|共8页
作者
范瑞瑛; 范正修;
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作者单位

中国科学院上海光学精密机械研究所;

中国科学院上海光学精密机械研究所;

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正文语种 chi
中图分类薄膜测量与分析;
关键词
热应力; 形变; 沉积; 老化;

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