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脉冲多弧离子源的研制

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摘要

脉冲多弧离子源主要用来镀制类金刚石薄膜及金属、合金膜、研究了脉冲多弧离子源的引弧方法、放电的稳定性、离子源结构对镀膜均匀性的影响。在此基础上，研制了脉冲多弧离子源，利用该源镀制了类金刚石薄膜及镍铬铁合金渐变膜。经测试，膜层性能良好。

著录项

来源
《光学仪器》 |1999年第4期|27-33|共7页
作者
严一心; 杭凌侠;
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作者单位

西安工业学院;

西安工业学院;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类薄膜物理学;
关键词
脉冲多弧; 离子源; 离子镀; 薄膜; 研制;

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