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用于复制柱面微透镜阵列的铸塑工艺

         

摘要

在光刻热熔成型以及电铸复制得到的柱面微透镜阵列镍模板基础上,采用铸塑工艺得到了高质量的PMMA柱面微透镜阵列,本文介绍了静态铸塑的模具设计,工艺过程,参数控制及测试分析,对柱面微透镜阵列的表面形貌分析表明,铸塑复制的面形误差小于0.5μm。

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