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新型压电光学扫描器的性能及控制

         

摘要

详细分析了压电扫描器的机械特性,及其对扫描特性的影响,通过调整输入波形的形式来修正压电扫描器的扫描畸变,从而达到计算机控制压电扫描器扫描的高精度和可控性。压电扫描器的扫描角度俑达到3°以上,扫描频率为20Hz以上,扫描线性度为1%。

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