首页> 中文期刊> 《光学仪器》 >精密可控工作台的实验研究

精密可控工作台的实验研究

         

摘要

实验探讨和研究了精密可控工作台的位移测量系统,计算机控制系统和微位移系统。实现了传统光学到尺数字化,使具有0.5mm刻度值的标准刻尺达到了1μm的分辨率和2μm的测量精度,并成功地用于精密可控工作台的位移实时测量,具有一定的实用价值。

著录项

相似文献

  • 中文文献
  • 外文文献
  • 专利
获取原文

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号