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光学信息处理系统的精密调整

         

摘要

提出一种简单易行的方法精密调整Fourier光学系统的光路,其中包括照明光束的准直,物面、谱面、象面三个特征平面的精密定位,其定位精度均在允许的最大离焦范围内。

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