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用于相位检测的电视图象处理技术

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光学干涉计量与电视图象处理技术结合具有测量精度高和实时性好的优点。文章讨论了光学干涉计量的干涉图解析法和辅助位相扫描法,介绍了电视图象处理技术。最后给出了新近研制的用于表面槽深检测的系统实例。仪器测试精度优于2nm,测试时间(以10次采样计)小于1分钟。

著录项

来源
《光学仪器》 |1991年第5期|6-10|共5页
作者
周恕义; 金国藩;
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作者单位

不详;

不详;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类电视信号处理;
关键词
相位; 检测; 电视; 图象处理; 光学干涉;

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