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高精度圆光栅复制的稳产高产

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稳产高产复制高精度圆光栅是满足国内日趋扩大的需求量的唯一途径。本文就如何稳产高产复制高精度圆光栅的主要工艺因素作了详细分析,并提出了达到上述指标的方法。

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来源
《光学仪器》 |1989年第1期|30-34|共5页
作者
何勇胜; 陈林;
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作者单位

不详;

不详;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类 TH741.6;
关键词
圆光栅; 照相复制; 高精度; 复制工艺;

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