面板检测用显微镜光学系统设计

陈鲁; 李志强

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为了实现对面板上缺陷精细分析和分类,设计了可见光波段、数值孔径为0.42的复消色差平场显微物镜和照明光学系统.通过合理结构优化、光焦度分配和材料的选择,优化出平场复消色差物镜,使其MTF曲线接近衍射极限.采用科勒照明匀光方案,设计照明光学系统,并用Lighttools软件对照明光学系统进行仿真.实验表明,光学系统分辨率达到0.775μm,在成像视场范围内照明均匀性可以达到98％以上.设计结果与实际测试结果一致,可满足高精度面板检测使用要求.

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来源
《光学仪器》 |2021年第1期|42-48|共7页
作者
陈鲁; 李志强;
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作者单位

深圳中科飞测科技有限公司广东深圳 518000;

深圳中科飞测科技有限公司广东深圳 518000;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类光学集成电路（集成光路）;
关键词
面板检测; 科勒照明; 显微镜; Lighttools软件;

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