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等离子体; 透镜; 科学杂志; 加州理工学院; 光学显微镜; 研究人员; 光子材料; 纳米结构;
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机译:管型透镜,包括该管型透镜的光发射光谱(OES)设备,包括该OES设备的等离子体监视系统以及通过使用等离子体监视系统制造半导体器件的方法
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