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10.6μm薄膜90°位相延迟片椭偏参数侧量方法的研究

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本文在旋转检偏器式椭偏仪原理的基础上,通过分析影响椭偏参数Ψ、Δ测量精度的主要因素,提出改进的测量方法,从理论上给出提高Ψ、Δ测量精度的途径,并得出了一些有价值的结论。

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来源
《光学精密工程》 |1991年第2期|56-59|共4页
作者
戈兵;
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作者单位

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正文语种 chi
中图分类光能加工设备及其加工;
关键词
激光; 加工机; 薄膜; 位相延迟片; 参数;

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