大型衍射光栅刻划机拉杆结构的分析与改进

著录项

• 来源
  《光学精密工程》 |2015年第3期|745-752|共8页
• 作者

  糜小涛; 于宏柱; 于海利; 姚雪峰; 宋楠; 冯树龙; 齐向东;

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• 作者单位

  中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林长春130033;

  中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林长春130033;

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  中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林长春130033;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 光刻、掩膜;
• 关键词

  光栅刻划机; 衍射光纤; 双拉杆结构; 单拉杆结构; 石英导轨;