固结磨料研磨蓝宝石单晶过程中研磨液的作用

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• 来源
  《光学精密工程》 |2014年第11期|3004-3011|共8页
• 作者

  王建彬; 朱永伟; 谢春祥; 徐俊; 居志兰;

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• 作者单位

  南京航空航天大学机电学院,江苏南京210016;

  安徽工程大学机械与汽车工程学院,安徽芜湖241000;

  南京航空航天大学机电学院,江苏南京210016;

  上海航天控制技术研究所,上海200233;

  南京航空航天大学机电学院,江苏南京210016;

  南京航空航天大学机电学院,江苏南京210016;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 晶体加工;表面处理;
• 关键词

  固结磨料; 研磨液; 乙二醇; 蓝宝石晶片;