高精度离轴凸非球面反射镜的加工及检测

张峰

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高精度离轴凸非球面反射镜的加工及检测

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为了提高离轴凸非球面反射镜的面形精度和光轴精度,研究了离轴凸非球面反射镜的加工与检测技术.首先,描述了离轴三反消像散(TMA)光学系统以及作为该光学系统次镜的离轴凸非球面反射镜的光学参数和技术指标.然后,介绍了非球面计算机控制光学表面成型(CCOS)技术及FSGJ非球面数控加工设备.最后,给出了非球面研磨阶段检测用的轮廓测量法和离轴凸非球面抛光阶段检测用的背部透射零位补偿检测法,并对背部透射零位补偿检测中离轴凸非球面反射镜光轴精度的控制技术进行了研究.检测结果表明:采用背部透射零位补偿检测法检测得到的离轴凸非球面反射镜的面形精度为0.017λ(均方根值,λ=0.632 8 μm);用Leica经纬仪测量反射镜的光轴精度其结果达到9.4",满足光学设计技术指标要求.

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来源
《光学精密工程》 |2010年第12期|2557-2563|共7页
作者
张峰;
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作者单位

中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,光学系统先进制造技术中国科学院重点实验室,吉林,长春,130033;

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正文语种 chi
中图分类结构;
关键词
凸离轴非球面; 计算机控制光学表面成型; 轮廓测量; 背部透射零位补偿检测; 光轴精度;

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