具有力感知功能的四臂式MEMS微夹持器研制

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• 来源
  《光学精密工程》 |2009年第8期|1878-1883|共6页
• 作者

  孙立宁; 陈涛; 邵兵; 李昕欣;

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• 作者单位

  哈尔滨工业大学,机器人研究所,黑龙江,哈尔滨,150001;

  哈尔滨工业大学,机器人研究所,黑龙江,哈尔滨,150001;

  哈尔滨工业大学,机器人研究所,黑龙江,哈尔滨,150001;

  中国科学院,上海微系统与信息技术研究所,传感技术国家重点联合实验室,上海,200050;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 半导体器件制造工艺及设备;
• 关键词

  微机电系统; MEMS微夹持器; 侧面压阻; 微操作;