薄膜反射镜的单电极控制静电成形

安源; 金光; 齐迎春; 孙小伟; 蒋宁; 艾晨光

首页> 中文期刊> 《光学精密工程》 >薄膜反射镜的单电极控制静电成形

薄膜反射镜的单电极控制静电成形

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

考虑薄膜反射镜具有质量轻、柔韧性好、可折叠等优点,研究了由静电拉伸法制备薄膜反射镜的新技术.介绍了薄膜反射镜的静电成形机理,计算了单电极模式下薄膜所受力场,设计了单电极式薄膜反射镜的控制实验.给出了控制成型所需的主要参数,设计了薄膜反射镜的夹持结构和控制电路,并利用刀口仪测量了形成的反射面的焦距.实验结果显示,未通电时薄膜反射镜面形的PV值达到11.14λ, RMS值为1.86λ,在10 000 V的高压下可以形成焦距约为2.1 m的反射镜面.通过Zernike拟合验证了数据的可靠性,结果表明,通过改善夹持结构精度和选取性能优良的薄膜材料,反射镜面形精度可进一步提高.

著录项

来源
《光学精密工程》 |2009年第8期|1964-1970|共7页
作者
安源; 金光; 齐迎春; 孙小伟; 蒋宁; 艾晨光;
展开▼
作者单位

中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130033;

中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130033;

吉林大学,长春,吉林,130022;

长春理工大学,吉林,长春,130028;

中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130033;

北京邮电大学,北京,100876;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类制造用材料;
关键词
薄膜反射镜; 单电极控制; 静电拉伸;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 静电拉伸薄膜反射镜的多电极成形控制 [J] . 张鹏 ,金光 ,张元 . 光学精密工程 . 2012,第002期
2. 多电极静电拉伸薄膜反射镜的光学检测 [J] . 钟兴 ,金光 ,张鹏 . 应用光学 . 2011,第002期
3. 薄膜反射镜静电成形机理研究 [J] . 张鹰 ,金光 . 光学精密工程 . 2009,第002期
4. 静电拉伸薄膜反射镜成形机理研究 [J] . 孙小伟 ,齐迎春 ,金光 . 半导体光电 . 2007,第4期
5. 静电拉伸空间薄膜反射镜面形控制机理研究 [J] . 张鹰 ,金光 . 空间科学学报 . 2009,第001期
6. 空间薄膜反射镜在轨面形精密调节及动态响应控制研究 [C] . 岳洪浩 . 第十二届设计与制造前沿国际会议（ICFDM2016） . 2016
7. 静电拉伸薄膜反射镜多电极分布设计与实验研究 [A] . 蒋龙军 . 2014

薄膜反射镜的单电极控制静电成形

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅