EUV波段CCD相机及其空间分辨率测试

巩岩; 宋谦; 叶彬浔

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研究了EUV波段CCD相机及其空间分辨率测试.EUV波段相机由荧光屏、MCP像管、光锥和可见光CCD构成,CCD像元大小为14 μm,像元数2 048×2 048.在北京同步辐射装置光束线软X射线光学实验束线站3W1B上,利用透射网栅法对相机进行了空间分辨率测试,结果显示这种结构的CCD相机在17.1 nm波长处,空间分辨率达到19 μm,相当于极限分辨率为26 lp/mm.

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来源
《光学精密工程》 |2005年第z1期|56-59|共4页
作者
巩岩; 宋谦; 叶彬浔;
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作者单位

中国科学院,国家天文台,北京,100088;

中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,应用光学国家重点实验室,吉林,长春,130033;

中国科学院,国家天文台,北京,100088;

中国科学院,国家天文台,北京,100088;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类照相机;
关键词
EUV; MCP; CCD; 空间分辨率;

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