一种大数值孔径小非球面检测用补偿器设计

郭培基; 余景池; 孙侠菲

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一种大数值孔径小非球面检测用补偿器设计

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利用补偿器的补偿法是检测高精度非球面的一种非常重要的方法,它可以利用已广泛实用的Zygo等高精度的数字干涉仪,用补偿法的关键是补偿器的设计.本文介绍了补偿法检测非球面的原理,针对要检测一种大数值孔径小非球面模芯,设计了一种由4片薄球面透镜组成的补偿器,该补偿器由前后两部分组成,前面两片组成一个数值孔径很小的系统,主要用于产生适量的球差,后组两片组成一个数值孔径较大的系统,并与前面的一起满足被测非球面检测的需要.文中对制造、检测及装调等主要误差源引起误差进行了全面分析.用这种补偿器检测相应的非球面,检测精度可达0.05λ,可满足光盘物镜非球面模芯的检测需要.

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来源
《光学精密工程》 |2002年第5期|518-522|共5页
作者
郭培基; 余景池; 孙侠菲;
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作者单位

苏州大学,现代光学技术研究所,江苏,苏州,215006;

苏州大学,现代光学技术研究所,江苏,苏州,215006;

苏州大学,现代光学技术研究所,江苏,苏州,215006;

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正文语种 chi
中图分类光学仪器;
关键词
补偿法; 补偿器; 大数值孔径小非球面;

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