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微器件装配系统总体方案研究

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微器件装配技术是微机械的关键技术之一，本文从微器件装配系统的特性和功能出发，提出了一套微装配系统设计方案，并对系统各个组成部分进行分析，介绍了系统实现的方法。

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来源
《光学精密工程》 |1998年第4期|60|共1页
作者
郑巍;
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作者单位

清华大学精密仪器与机械学系;

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正文语种 chi
中图分类 TH－39;
关键词
微器件; 微装配; 操作手; 总体设计;

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