激光聚变靶丸内表面轮廓测量系统的研制

赵维谦; 王龙肖; 邱丽荣; 王允; 马仙仙

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激光聚变靶丸内表面轮廓测量系统的研制

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针对激光聚变靶丸内表面轮廓高精度无损测量的迫切需求,研制了一套激光聚变靶丸内表面轮廓测量系统.该系统通过最小二乘算法(LSC)计算出靶丸回转偏心量,并利用偏心调整台对靶丸偏心进行自动快速调整;然后,系统软件控制气浮回转轴承驱动靶丸旋转,利用激光差动共焦传感器(LDCS)轴向响应曲线过零点及光线追迹算法精确计算出靶丸内表面轮廓上每个采样点的几何位置;最后,对靶丸内轮廓测量数据进行LSC评定得到其圆度信息.实验证明,靶丸回转偏心的自动调整时间可达22 s,当采样点分别为1024,2048及4096时,靶丸内轮廓测量时间分别可达10,20及40 s,且圆度测量标准差可达19 nm(1024点).该系统实现了靶丸回转偏心的自动快速调整及其内轮廓的高精度、无损、快速、自动测量.

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来源
《光学精密工程》 |2019年第5期|1013-1023|共11页
作者
赵维谦; 王龙肖; 邱丽荣; 王允; 马仙仙;
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作者单位

北京理工大学光电学院精密光电测试仪器及技术北京市重点实验室;

北京100081;

北京理工大学光电学院精密光电测试仪器及技术北京市重点实验室;

北京100081;

北京理工大学光电学院精密光电测试仪器及技术北京市重点实验室;

北京100081;

北京理工大学光电学院精密光电测试仪器及技术北京市重点实验室;

北京100081;

北京理工大学光电学院精密光电测试仪器及技术北京市重点实验室;

北京100081;

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正文语种 chi
中图分类光学计量仪器;
关键词
共焦测量; 聚变靶丸; 内轮廓; 自动偏心调整;

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