基于纳米测量机的微结构三维坐标测量

吴俊杰; 李源

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基于纳米测量机的微结构三维坐标测量

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针对当前微纳米测量中存在的微结构跨尺度、高精度测量及高深宽比结构多参数表征问题,基于纳米测量机和微接触测头构建了纳米坐标测量系统.通过对测头与定位平台机械、电气及软件接口的设计,实现测头与平台的集成,并利用标准球对测量系统进行校准.为保证测量结果的可溯源性,对定位平台三轴激光干涉仪的激光器进行了拍频.最后,利用搭建的测量系统对高度10μm,2 m m的超高台阶及硅臂卡爪的侧壁倾角进行了测量,表明系统具备大尺寸结构的高精度测量和复杂MEMS器件特征尺寸的精确表征能力.

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来源
《光学精密工程》 |2020年第10期|2252-2259|共8页
作者
吴俊杰; 李源;
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作者单位

上海市计量测试技术研究院机械与制造计量技术研究所上海201203;

上海市计量测试技术研究院机械与制造计量技术研究所上海201203;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类长度计量仪器;
关键词
微纳米测量; 纳米测量机; 三维微接触测头; 高深宽比; 侧壁倾角;

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