用于分数傅里叶域滤波位相元件设计新算法

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• 来源
  《光电工程》 |2005年第3期|54-57|共4页
• 作者

  刘建莉; 高峰; 杜惊雷; 罗铂靓; 段茜;

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• 作者单位

  四川大学,物理科学与技术学院,四川,成都,610064;

  四川大学,物理科学与技术学院,四川,成都,610064;

  四川大学,物理科学与技术学院,四川,成都,610064;

  四川大学,物理科学与技术学院,四川,成都,610064;

  四川大学,物理科学与技术学院,四川,成都,610064;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 光刻、掩膜;
• 关键词

  相干成像系统; 分数傅里叶域滤波片; FrPI; 光刻;