用于超光滑表面无损检测的光学轮廓仪

杨甬英; 卓永模

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用于超光滑表面无损检测的光学轮廓仪

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所述的光学轮廓仪是利用双焦透镜产生的偏振光束经被检面反射后形成了一共路干涉体系，因此该干涉体系可对超光滑表面做非接触无损检测而无需标准参考面；同时，利用双通道电子共模抑制技术可有效地抑制系统的各类噪声；计算机控制测量，即时给出表面粗糙度参数，测量结果与计量用ＷＹＫＯ轮廓仪比对，结果吻合。仪器特别适合于均方程极值Ｒｑ为纳米及亚纳米量级的表面的测试，尤其是软质金属材料及膜层表面。其横向分辨率为１μｍ，纵向分辨率为０．１ｎｍ。

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来源
《光电工程》 |1999年第6期|12-16|共5页
作者
杨甬英; 卓永模;
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作者单位

浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江杭州;

浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江杭州;

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正文语种 CHI
中图分类 TH741.3;
关键词
光学轮廓仪; 无损检测; 超光滑表面;

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