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同步辐射X射线光刻机中电机发热对进给工件台定位测量的影响

         

摘要

本文针对X射线光刻机联调中发现的工件台定位测量漂移现象进行了实验分析和理论计算,证实电机发热是导致工件台温升和定位漂移的主要因素。这种现象在微细加工光刻机中是普遍存在的,可以通过合理的结构设计和必要的措施减少热漂移,以满足微细加工的要求。

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