首页> 中文期刊> 《石油和化工设备》 >屏蔽泵在多晶硅装置中的应用

屏蔽泵在多晶硅装置中的应用

         

摘要

介绍了屏蔽泵的结构原理、设计及制造标准及其在多晶硅装置中的应用情况.

著录项

相似文献

  • 中文文献
  • 外文文献
  • 专利
获取原文

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号