Si基Sr_(1.8)Ca_(0.2)NaNb_5O_(15)薄膜的合成及光学特性研究

杨丁; 尹伊

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利用溶胶-凝胶法,在Si（001）单晶衬底上逐层生长四方钨青铜结构的Sr1.8Ca0.2NaNb5O15（SCNN）薄膜。利用X射线衍射（XRD）仪、扫描电子显微镜（SEM）和原子力显微镜（AFM）等技术研究了薄膜的微结构,结果表明,SCNN薄膜在厚度较小的状态下可呈现出明显的（001）择优取向,而随着厚度的增加择优取向受到抑制,颗粒尺寸增大,薄膜的多晶态的趋势增强。然后通过测量薄膜在400～780nm光谱范围内的反射率曲线,采用Sellmeier色散公式分析折射率非均匀性的影响,通过改进的单纯形法计算拟合出SCNN薄膜的折射率和厚度,其中厚度的结果利用SEM加以验证,而折射率的变化则与薄膜结晶态的变化保持一致。

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来源
《光电子．激光》 |2014年第7期|1355-1362|共8页
作者
杨丁; 尹伊;
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作者单位

四川职业技术学院机械工程系;

四川遂宁629000;

电子科技大学光电信息学院;

四川成都610054;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类光辐射、光度学、色度学;
关键词
Sr1; 8; Ca0; 2; NaNb5; O15(SCNN); 铁电薄膜; 择优取向; 溶胶-凝胶法; 单纯形法;

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