基于电子散斑干涉技术快速评价半导体器件可靠性

袁纵横; 宋美杰; 熊显名

首页> 中文期刊> 《光电子．激光》 >基于电子散斑干涉技术快速评价半导体器件可靠性

基于电子散斑干涉技术快速评价半导体器件可靠性

开具论文收录证明 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

提出了一种基于电子散斑干涉(ESPI)技术的快速评价半导体器件可靠性的新方法。通过给试件施加序进的加速温度应力,采用ESPI技术测量其封装离面位移随温度变化的规律预测其工作寿命。对简单半导体器件样品进行了实验,得到了散斑条纹图随试件温度的变化规律,根据变化规律快速提取出了试件的激活能,推算出了试件常温条件下的工作寿命。实验结果与相关资料数据吻合,验证了本文方法的可行性。

著录项

来源
《光电子．激光》 |2011年第3期|352-354|共3页
作者
袁纵横; 宋美杰; 熊显名;
展开▼
作者单位

桂林电子科技大学电子工程学院;

广西桂林541004;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类激光的应用;
关键词
电子散斑干涉(ESPI); 离面位移; 激活能; 寿命预测;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 基于激光电子散斑干涉技术的电路热变形研究 [J] . 司小平 ,张具琴 . 激光杂志 . 2016,第2期
2. 基于电子散斑干涉技术的微变形场测量及残余应力分析 [J] . 杨吟飞 ,万云 ,何宁 . 机械制造与自动化 . 2014,第2期
3. 基于电子散斑干涉的枞树型叶根应力场测试技术 [J] . 翟栋 ,何斌 . 东方汽轮机 . 2013,第2期
4. 基于电子散斑干涉技术的直线度误差测量方法 [J] . 陈桢 ,宋伟 . 激光杂志 . 2012,第3期
5. 基于电子散斑剪切干涉技术的振动检测研究 [J] . 于长淞 . 长春理工大学学报（自然科学版） . 2011,第3期
6. 激光错位散斑干涉测量系统——介绍当今世界先进的非接触式、非破坏、全场快速无损检测测试技术 [C] . 王幼玲 ,北京安和科技公司 . 第九届全国无损检测新技术学术研讨会 . 2004
7. 电子散斑照相与散斑干涉场空间调制技术研究 [A] . 陶春先 . 2006

基于电子散斑干涉技术快速评价半导体器件可靠性

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅