基于硫醇-烯的微光学元件低收缩紫外压印工艺

刘楠; 金鹏; 谭久彬

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基于硫醇-烯的微光学元件低收缩紫外压印工艺

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基于硫醇-烯类材料具有固化凝胶点滞后的特点,本文将多种硫醇-烯类材料应用于紫外压印的连续浮雕结构微光学元件复制加工工艺中,用以降低固化收缩对于加工误差的影响。实验结果表明,虽然该材料的固化收缩达到13%,但加工结果的收缩误差优于2%。反应离子刻蚀实验表明,通过调节刻蚀气体含量,该材料可实现连续浮雕结构的等比例图形传递。研究结果表明,应用基于硫醇-烯材料的紫外压印工艺制作连续浮雕结构微光学元件是一种行之有效的方法。

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来源
《光电子．激光》 |2012年第8期|1513-1518|共6页
作者
刘楠; 金鹏; 谭久彬;
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作者单位

哈尔滨工业大学;

黑龙江哈尔滨150001;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TH162.1;
关键词
微光学元件; 紫外压印; 硫醇-烯; 固化收缩; 反应离子刻蚀;

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